M08000 - SEMI M80 - 450 mmウェーハの搬送および出荷用フロントオープニング・シッピングボックスの機械仕様 Revision:SEMI M80-0514 - Superseded これは，パーソンガイデッドビークル（PGV）とロードポートを有する装置間のインタフェースの互換性をさらに推進するものである。

これは，パーソンガイデッドビークル（PGV）とロードポートを有する装置間のインタフェースの互換性をさらに推進するものである。

SEMI C93-0217 (preliminary status removed)

This Standard covers two test methods for determining flat orientation

in this Test Method

M08000 - SEMI M80 - 450 mmウェーハの搬送および出荷用フロントオープニング・シッピングボックスの機械仕様 Revision:SEMI M80-0514 - Superseded これは，パーソンガイデッドビークル（PGV）とロードポートを有する装置間のインタフェースの互換性をさらに推進するものである。SEMI SEMI Silicon Wafer Global Technical Committee2014124global Audits and Reviews Subcommittee20145www. semiviews. org www. semi. org20111120128 IC450 mmfront opening shipping Box: FOSB 450 FOSB450 FOSB IC450 FOSB450 FOUP Referenced SEMI Standards SEMI E144 Specification for RF Air Interface Between RFID Tags in Carriers and RFID Reader in Semiconductor Production and Material Handling Equipment SEMI E154 Mechanical Interface Specification for 450 mm